1um/pixelでの検査を実現する!
TDIカメラと組み合わせるオートフォーカスソリューション
オートフォーカスが必要とされる理由 半導体は微細化技術の進化だけでなく、チップレット化や2.5D / 3Dの実装技術なども組み合わせた高性能化がますます進んでいます。AIの普及に伴いこの流れは今後ますます勢いを増していくことが予想される中で、検査技術の向上も望まれています。 ピクセル分解能の観点で言えば、過去は5um/pixelだったものが現在は1.5um/pixelが主流になり、将来は1um/pixel以下が求められており、既にそういったチャレンジングな課題に取り組まれている検査装置メーカーもあ...