ミクロンの世界を3次元で可視化する 精密計測 3Dセンサー
『半導体』製造業界向けアプリケーション集
半導体の製造工程では、非常に微細な加工が必要とされます。そのため、検査工程においても、サブミクロン、時にはナノメートルレベルの高い精度が要求されます。 3次元計測においては、サブミクロン以下の高さを計測できる白色干渉法や共焦点法が以前から存在していました。しかし、製造ラインで活用するには、インライン計測に対応できる「速度」が必要不可欠です。 本稿では精度と速度を両立し「3Dインライン精密検査」を実現する2つの3Dセンサー、「heliInspect」と「Gocator」をご紹介します。 また、...