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2024.09.11
製品情報
heliotis
Gocator
半導体の製造工程では、非常に微細な加工が必要とされます。そのため、検査工程においても、サブミクロン、時にはナノメートルレベルの高い精度が要求されます。 3次元計測においては、サブミクロン以下の高さを計測できる白色干渉法や共焦点法が以前から存在していました。しかし、製造ラインで活用するには、インライン計測に対応できる「速度」が必要不可欠です。 本稿では精度と速度を両立し「3Dインライン精密検査」を実現する2つの3Dセンサー、「heliInspect」と「Gocator」をご紹介します。 また、...
2023.12.13
製品情報
heliotis
「サブミクロン高さ計測をインラインで」heliInspect 進化の歴史 本号リリース日である2023/12/13からちょうど10年前、2013/12/13のLINX Express Vol.191はheliInspectシリーズの取り扱い開始を取り上げたものでした。それから10年が経過した今まさに、heliInspect に対するニーズは大きな盛り上がりを見せています。 「白色干渉のサブミクロン高さ計測をインラインで」をキャッチコピーに登場したこのユニークな製品はリリース当時も大きな反響...
2023.06.14
製品情報
heliotis
Gocator
Chromasens
リンクスではこれまでも多くの外観検査の課題に取り組んできました。2Dカメラと照明を組み合わせでは対処しきれない難易度の高い外観検査に対し、3Dセンサーを活用した新たな解決策を提案します。 3D外観検査の特徴と導入のポイントをまとめた最新資料をご用意しました。本号ではその一部をご紹介します。詳細内容はぜひダウンロードしてご確認ください。 インライン3D外観検査資料ダウンロード 緩やかな凹凸やサビ・変色など複数の項目を同時に...
2023.02.16
製品情報
heliotis
Gocator
Chromasens
リンクスでは計測原理やスキャン方式ごとに様々な3次元センサーを取り扱っています。下図は横軸にZ精度、縦軸に計測範囲を取って原理別に各製品をマッピングしたものですが、種類も多いため、どのセンサーがどういった用途に最適なのか、パッと見ただけではわかりにくいかもしれません。そこで本稿では代表的な3次元センサーの用途と紐づけて各センサーの特長を紹介します。 用途別！リンクス取り扱い3次元センサーの位置づけ “寸法計測” は Gocator 2000/3000 部品/製品の寸法が規定サイズに収...
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