どこまで見える?白色干渉・共焦点3Dセンサー撮影比較
ラボレベルの精密3D測定をインラインで
製品の小型化や高機能化に伴い、製造現場ではこれまで以上に微細な形状/高低差測定が求められています。ナノメートルレベルの精密測定が可能な3D顕微鏡は、測定に時間を要するため、生産ラインにおける全数検査への活用は依然として難しいのが現状です。 こうした課題を解決するのが、白色干渉方式の3Dエリアセンサー「heliInspect」と、共焦点方式の3Dラインセンサー「Gocator 4000/5000シリーズ」です。 本号では、半導体パッケー...






























