heliotis helilnspect 白色干渉計測3次元エリアセンサー

製品特徴

heliotis社の白色干渉計測3次元エリアセンサーは、対象物の3次元形状を高精度に測定します。 ステージ一体型のheliInspectはインラインで3次元検査を行いたいという要望から開発されました。
センサー素子一つ一つが高度な演算処理を行うことができる独自のCMOSセンサーにより、非接触で高精度かつ高速な3次元計測が可能です。

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  ナノオーダーの超高精度高さ計測

  heliInspect で採用している白色干渉法は非接触では最も精度の高い測定原理で、ナノオーダーの高さ計測が可能です。光切断や縞投影といった三角測量法では難しい、数µmの微小な段差も捉えられます。heliInspect を用いることで1µm未満の高低差に対しても定量的な良否判定が可能となり、高い精度が要求される外観検査に対応します。

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  超高速な“面”計測

  heliInspectはエリアスキャン方式の3Dセンサーです。最大25mm角の視野に対して100万点の高さを同時計測します。通常の白色干渉計は1視野あたり数10秒もの計測時間を要しますが、heliInspectでは自社開発の特殊CMOSセンサーにより、ワンショットあたり数100msで計測可能です。
  通常の白色干渉計で課題となる耐震措置も不要で、工場など周囲で製造設備が動くような環境でのインライン検査にも活用できます。

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  金属/鏡面/透明体/斜面でも苦手なく計測可能

  heliInspectは反射率の大きく異なる対象物を同一視野に捉えて計測できます。鏡面や透明体、ゴムのような低反射素材まで、全ての対象物表面の形状を高精度に計測します。
  またheliInspect では計測レンジ、露光時間、光源光量などを任意に設定できるため、データの抜けやすい斜面においても、他社の白色干渉センサーと比較して安定した計測が可能です。

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  耐振動・小型設計でインライン導入が容易

  heliInspectは、高速センサー、光源、光学系を小型かつ堅牢な筐体に一体化しています。センサー内部では最大1,000,000fpsの高速データ取得を行うため、周囲の設備から伝わる振動の影響を受けにくく、一般的な白色干渉計で必要となる大がかりな除振設備も不要です。
  製造設備が稼働する環境でも安定した計測が可能で、製造ラインへの組込みやラインサイドでの自動検査にも導入できます。