白色干渉3Dエリアセンサー『heliInspect』による インライン表面粗さ測定
半導体、自動車などの産業分野では、製品性能の高度化に伴い、加工表面の品質管理も着目されています。特に、研削・研磨・切削などの加工によって形成される表面の微細な凹凸は、摩擦特性や密着性、光学特性などに影響を与えるため、製品性能を左右する重要な要素です。 こうした背景から、ISO規格に基づいて定量的に評価した「表面粗さ」が品質管理に活用されています。しかし従来の粗さ測定は、接触式粗さ計や顕微鏡による測定が中心であり、多くの場合はオフライン評...










