共焦点ライン3Dセンサー Gocator 4000/5000 シリーズ

共焦点ライン3Dセンサーとは
共焦点ライン3Dセンサーとは0.1μmレベルの高精度高さ計測が可能なラインスキャンタイプの3Dセンサーです。
透明体や光沢表面も撮影することができ、微細な凹凸形状を高精度に捉えることができます。
「高速」かつ「高精度」な3次元計測が可能なため、半導体製造業界をはじめ、電気電子製品、医療品、自動車部品など高い検査精度が要求される製品のインライン検査で利用されています。
共焦点ライン3Dセンサーの計測原理
共焦点ライン3Dセンサーは白色光源とそれを受光するセンサー部、白色光源を分光する特殊なレンズの組み合わせから成ります。
1.光源から出力された白色光は特殊なレンズを通ると数千の連続した波長スペクトルに分割されます。
2.分割された光は波長によって受光側までの距離が異なり、波長が短いほど近い距離、波長が長いほど遠い距離で集束されます。
3.分光範囲内にある物体の表面で単一の波長の光が表面で反射し、イメージャーに入光します。
4.イメージャーの直前にスリットが用意されており、焦点の合う高さで反射した光のみが通過し分光計で検出されます。
5.検出された光の波長を解析することで対象物表面の正確な高さを求めることができます。

計測精度は反射光の強度に依存しないため、鏡面のように反射率が高い対象や、透過率が高い材質の表面も問題なく計測が可能です。
共焦点ライン3Dセンサー Gocator4000/5000シリーズの特長
Gocator 4000/5000シリーズは速度と精度を兼ね備えた共焦点ライン3Dセンサーです。(国際特許取得済)
超高精度・高速3D計測
最高50nmの繰返し高さ解像度で精密計測を行います。
最大スキャンレート10kHz以上、フルスキャンレンジでも2100~4500Hzの高速撮影で速度が要求されるインライン検査に対応します。

光沢鏡面・透明体も計測可能
光沢鏡面、透明/半透明体、傾斜のついた表面、柔らかい多孔質表面など様々な表面タイプを組み合わせて計測します。

多彩な計測/検査ツールを搭載
WEBブラウザベースの洗練されたインターフェースでマウスで簡単に操作できます。
3Dスキャンの他、2D/3Dの各種計測、検査判定、外部機器入出力を搭載したスマートセンサーです。

共焦点ライン3DセンサーGocatorには4000シリーズと5000シリーズのラインナップが用意されています。
Gocator4000シリーズ
真上からスキャンする同軸光学設計を採用したタイプです。死角が発生しないため、深い溝や突起などの凹凸の激しい形状でも高精細な3Dデータが取得できます。最大傾斜角±85度の急斜面でも撮影可能です。
高いピンが並んだPGA(Pin Grid Array)やコネクタなど細かい凹凸形状もきれいに捉えることができます。

Gocator5000シリーズ
発光側と受光側のレンズが45度に向かい合うよう配置されたコンフォーカル光学系で、高いZ解像度を持ちます。透明な多層素材の表面または内部の断層データが取得可能です。
フィルムの厚みや透明接着剤の塗布量など、透明や半透明の対象物の計測に適しています。

3Dスマートセンサー「Gocator」製品仕様
共焦点ライン3Dセンサー Gocator 4000シリーズ
真上からスキャンする同軸光学設計を採用した共焦点ライン3Dセンサーです。
最大視野幅5mm、最大計測レンジ2.5mmの範囲が撮像できます。高精度なGocator4011ではX解像度1.9μm、Z再現性0.1μmでの計測が可能です。

Gocator 4000シリーズ製品ラインナップ
4011 (4010) | 4021 (4020) | |
---|---|---|
視野幅(FOV)(mm) | 3.5 | 5.0 |
作動距離(WD)(mm) | 9.82 | 29.0 |
X解像度(μm) | 1.9 | 2.6 |
繰返しZ(μm) | 0.10 (0.12) | 0.20 (0.25) |
共焦点ライン3Dセンサー Gocator 5000シリーズ
発光側と受光側のレンズが45度に向かい合うよう配置された共焦点ライン3Dセンサーです。
最大視野幅17mm、最大計測レンジ5.5mmの範囲が撮像できます。高精度なGocator5504ではX解像度2.5μm、Z再現性0.05μmでの計測が可能です。

Gocator 5000シリーズ製品ラインナップ
5504 | 5512 | 5516 | |
---|---|---|---|
視野幅(FOV)(mm) | 4.3 | 11.6 | 17.0 |
作動距離(WD)(mm) | 8.35 | 20.6 | 63.5 |
X解像度(μm) | 2.5 | 6.5 | 9.9 |
繰返しZ(μm) | 0.05 | 0.2 | 0.25 |