heliInspect で採用している白色干渉法は非接触では最も精度の高い測定原理で、ナノオーダーの高さ計測が可能です。光切断・縞投影・ステレオビジョンといった三角測量を原理とした計測技術では、高さ数µmレベルの欠陥を安定的に検出するには精度面で限界があります。heliInspect を用いることで1µm未満の高低差に対しても定量的な良否判定が可能となり、高い精度が要求される外観検査に対応します。

センサーレベルの特殊ハイダイナミックレンジ（HDR）処理により、反射率の大きく異なる対象物を同一視野に捉えて計測できます。鏡面や透明体、ゴムのような低反射素材まで、全ての対象物表面の形状を高精度に計測します。他の計測手法では難易度の高い光沢金属面での外観検査も高精度かつ定量的に実施可能です。
またheliInspect では計測レンジ、露光時間、光源光量などを任意に設定できます。データの抜けやすい斜面においても、他社の白色干渉計と比較して安定した計測が可能です。

heliInspectでは、物体表面の高さ情報を取得する通常の表面計測モードに加えて、断層モードと呼ばれる計測モードが用意されています。透明な対象物に対して断層計測モードを用いることで、CTスキャンのように各層のデータを取得することが可能です。塗布された透明接着剤の高さ・体積計測や、液晶のコーティングの厚みムラ計測など、透明な対象物の厚みを計測することが可能です。

heliInspectでは真上から同軸的にスキャンするため、三角測量法で問題になるような死角による隠れが発生しません。アスペクト比の高い深い溝や穴底の測定・外観検査でも効果を発揮します。

その精度の高さから、従来接触式やレーザー顕微鏡を用いて抜き取りで時間をかけて実施していた面粗さ測定を自動化することも可能です。面粗さ/線粗さの各種測定値をインライン検査で全数管理する用途においても実績があります。