スマート3DセンサーGocatorの新製品『Gocator4000』シリーズがリリースされました。
LINX Express Vol.443 で紹介したGocator5500シリーズと同じ共焦点ラインセンサーの原理を持ちながら、真上から撮像する同軸光学設計により、凹凸が激しくかつ微細なターゲットをサブミクロン精度で3Dスキャンします。本号ではGocator4000シリーズの最新情報をご紹介します。
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3D【同軸】共焦点ラインセンサー『Gocator4000』シリーズ
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Gocator 4000 シリーズの特徴
3D同軸共焦点ラインセンサーGocator4000シリーズの特徴を紹介します。
高解像度×高速スキャン
Gocator 4000シリーズは、高いX解像度、Z解像度を持ち、微細な特徴を計測し、高精細な3Dデータと2D輝度画像を取得します。最大16 kHzの高速スキャンレート（GoMax NXまたはPCアクセラレーション使用時）と組み合わせることで、生産ラインのインライン検査に導入できるスキャン速度と検査ソリューションを提供します。
死角のない同軸スキャンで傾斜面も撮像可能
真上からスキャンする同軸光学設計により、深い溝や突起などの凹凸の激しい形状でも高精細な3Dデータが取得できます。また、Gocator4000シリーズは最大傾斜角±85度の急斜面でも計測することができます。
多様な素材・表面状態に適用可能
透明体や光沢鏡面も撮影可能です。透明な接着剤の塗布量計測、ウエハ光沢表面に見られるダイシング溝の計測、BGAの小さな半田バンプなどさまざまな素材・表面状態で正確に3次元形状を計測します。
計測・検査ソフトウェア搭載
WEBブラウザベースのインターフェースでマウスだけで簡単に設定・操作が可能です。寸法測定や画像処理も付属の計測ツールで実施でき、I/O接続やPLCとの入出力を行う各種フィールドバスにも対応しています。
Gocator 4000 シリーズの計測原理
| Gocator4000シリーズに採用されている同軸共焦点光学系では、白色光がクロマティックレンズを通ると、Z軸に沿って分光され、連続した単色光が得られます。この分光範囲内に対象物表面があると、単一の波長の光が表面で反射し、イメージャーに入光します。 イメージャーの直前にフィルター用のピンホールが用意されており、焦点の合う高さで反射した光のみが通過し分光計で検出されます。 検出された光の波長を解析することで対象物表面の正確な位置を求めることができます。 |  |
Gocator 4010/4020 適用アプリケーション例
サブミクロン精度で透明体・光沢鏡面が撮像できるGocator4000シリーズは半導体業界をはじめとする精密製品の形状測定・外観検査で活躍します。
BGAボールバンプ検査
細かいボールの頂点だけでなく、ボール側面の傾斜まで抜けなく撮像します。
ウエハダイ クラック検査
光沢のあるウエハ表面に見られるダイシング用溝の幅・深さを正確に計測します。死角のない真上からの撮像で溝のキワまで正確に形状を捉えます。
ICチップ ワイヤーボンディング検査
縦横に這う極細のワイヤーを高精度に3Dスキャンします。傾斜面も撮影できるので、ワイヤーの重なりや、奥行方向の曲がり具合まで正確に計測可能です。
最新機種 Gocator 4010/4020 のスペックを今すぐチェック！
最新機種Gocator4010/4020の詳細スペックが確認できる製品データシートを、WEBサイトの公開に先立って用意しました。下記リンクボタンよりダウンロードしてください。
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