ワイヤーボンディングのワイヤーのループ形状は長らく画像処理の課題となっているタスクの1つです。
ワイヤーの密度が低く複雑でなければ、斜めからカメラで見る手法もありますが、本数が多いと機能しません。また、細く反射の強いワイヤーは三角測量では計測がうまくいかず、そもそも形状をとることが困難です。
heliInspectでは、このような難しい対象物に対しても計測が可能です。下記にheliInspectで撮像したワイヤーループの計測結果を示します。データ抜けなく、良質な計測ができていることが確認できます。
ワイヤーの最大高さや倒れ、弛みなど2次元では難しい検査も高さ情報を使えば実現可能です。
CASE適用事例
ワイヤーのループ高さ計測
2017.03.15
半導体/IC
heliotis