CASE適用事例

2015.11.12

半導体/IC
heliotis

面の粗さ計測

  • heliInspectで得られた高さ画像から金属表面等に見られる連続的な面の粗さ(Ra値)を計測することが可能です。

  • また位相モードを使用することで数nmレベルの凹凸を計測することもできます。

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