透過型開放管マイクロフォーカス３次元Ｘ線透視装置XVA-160ユーセントリック機能（特許取得済み）により、着目点を中心に360度あらゆる方向から撮像することで、欠陥を見逃すことなく検出。3次元斜めCT方式を採用することで、斜め方向からの撮影により大型基板でも破壊することなく断層を撮影。画像処理エンジンとしてHALCONを採用。フィルタリング処理や歪み補正はもちろん自動欠陥検出や自動計測を実現。