heliotis helilnspect 白色干渉計測3次元エリアセンサー heliInspect 機能説明動画

共焦点法や白色干渉法を測定原理とした3D顕微鏡は、高精度な高さ計測が可能ですが、1つの視野を計測するのに数十秒の時間を要するため、主に研究用途に限られています。
heliInspectでは特殊なCMOSエリアセンサー技術を採用し、ワンショットあたり数100ミリ秒でナノオーダーの面計測を実現します。これにより従来の顕微鏡や接触式測定器と同等の精度をもちながら、インライン検査に活用することが可能です。

従来の3D顕微鏡では、撮影からデータ表示まで数秒〜数十秒かかるため、位置がずれていた場合は、撮り直し作業を繰り返すこととなり、膨大な時間を要していました。
heliInspectはワンショット数100ミリ秒で撮影できるため、リアルタイムに高さ画像とモノクロ画像を確認しながらXYZ軸の位置調整ができます。
専用のビューアーソフトウェア『heliViewer』を使用して、カメラ設定や撮影画像の確認もスムーズに行うことができます。

従来の白色干渉計は振動対策として重い定盤が必要で、設備が高価かつ高重量になりがちでした。
高速で計測できるheliInspectは特別な振動対策を必要とせず、コストと重量を大幅に抑えて導入できます。
周囲で動く製造設備の振動を気にすることなく、抜き取り検査の自動化やインラインでの全数検査に適用することができます。

従来の白色干渉顕微鏡では、1mmの計測レンジの計測に数10秒の時間を要するため、数100µm程度の高低差を計測する用途に限られていました。
heliInspectは、光学系を40mm駆動できるZステージをヘッド内に内蔵しており、スキャン位置や計測レンジを自由に設定できます。これにより、インライン / オフラインを問わず、対象物に応じた迅速な計測が可能です。

heliInspect H8/H8M シリーズは7つの倍率が用意されており、対物レンズを付け替えることで倍率を変更することができます。
最も視野の広い2倍レンズでは6mm角の視野範囲をXY解像度6μmで撮影できます。最も解像度の高い100倍レンズでは0.12mm角の視野範囲をXY解像度0.12μmで撮影できます。
レンズはマグネットで固定されており、工具を使わずに手軽に付け替えられます。測定レンジの調整も専用ソフトウェア『heliViewer』でマウスクリックで調整可能です。