LMI Technologies Focal Spec 共焦点ラインセンサー

特長

超高精度・高速3D計測

最高50nmの繰返し高さ解像度で精密計測を行います。
最大スキャンレート 16kHz 、フルスキャンレンジでも 3kHz の高速撮影で速度が要求されるインライン検査に対応します。

3D表面 / 3D断層 / 2D強度 を同時取得

3Dトポグラフィー(3D表面データ)、3Dトモグラフィー(マルチレイヤー3Dデータ)、および2D強度データを同時に取得します。
合わせガラス、携帯電話のディスプレイ、および密封された医療パッケージなど透明な多層材料の表面または内部の層間剥離、傷、挟んだ異物などの欠陥を識別します。

光沢鏡面・透明体も計測可能

不透明なマットな表面で±80度、鏡面でも±20度の傾斜がついた表面でも高品質なスキャンが可能です。
光沢鏡面、透明/半透明体、傾斜のついた表面、柔らかい多孔質表面など様々な表面タイプを組み合わせて計測します。

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計測原理

共焦点ラインセンサー FocalSpec LCIシリーズは、2048ポイントの各点において精密に高さを計測することで3次元形状データを取得します。

  1. 光源から出力された白色光は特殊なレンズを通ると数千の連続した波長スペクトルに分割されます。
  2. 分割された光は波長によって受光側までの距離が変化します。波長が短いほど近い距離で、波長が長いほど遠い距離で集束されます。
  3. 斜め上から光源を出力し、その反射を受け取るよう受光側を設置することで光の反射する面の高さの変動に応じて受光側の波長が変化します。
    受光部にある分光カメラで検出された波長から、高さデータに変換し、高さ値を正確に計測します。

計測精度は反射光の強度に依存しないため、鏡面のように反射率が高い対象や、透過率が高い材質の表面も問題なく計測が可能です。