Gocator 同軸共焦点ラインセンサー Gocator4000シリーズ
高さによって反射する波長スペクトルの違いから、正確に高さ計測を行う3次元共焦点ラインセンサーです。真上からの同軸撮影で死角のない高精細な3Dデータを取得します。
- 繰返しZ精度 0.12μm、最高速度 10kHz以上
- 最高X解像度1.9μm、1ライン1920 pixelの高解像度3D計測
- 透明体、光沢鏡面も撮影可能
- 真上から撮影する同軸光学設計で最大傾斜角度 ±85度 も撮影可能
特長
超高精度・高速3D計測
最高X解像度1.9μm、Z解像度0.25μmで精密3D計測を行います。
最大スキャンレート10kHz以上、フルスキャンレンジでも4300Hzの高速撮影で速度が要求されるインライン検査に対応します。死角のない同軸光学設計
真上からスキャンする同軸光学設計により、深い溝や突起などの凹凸の激しい形状でも高精細な3Dデータが取得できます。最大傾斜±85度の急斜面でも高品質な3Dスキャンが可能です。
光沢鏡面・透明体も計測可能
光沢鏡面、透明/半透明体、柔らかい多孔質表面など様々な素材が組み合わさった表面を安定して撮像できます。ガラスの形状計測、透明接着剤の塗布量検査、ウエハ光沢表面に見られるダイシング溝の計測などに適用できます。
計測原理
共焦点ラインセンサーGocator4000シリーズは、1920ポイントの各点において精密に高さを計測することで3次元形状データを取得します。
- 光源から出力された白色光は特殊なレンズを通ると数千の連続した波長スペクトルに分光されます。
- この分光範囲内に対象物表面があると、単一の波長の光が表面で反射し、イメージャーに入光します。イメージャーの直前にフィルター用のピンホールが用意されており、焦点の合う高さで反射した光のみが通過し分光計で検出されます。
- 検出された光の波長を解析することで対象物表面の正確な高さを求めることができます。
計測精度は反射光の強度に依存しないため、鏡面のように反射率が高い対象や、透過率が高い材質の表面も計測が可能です。
