Focal Spec
共焦点ラインセンサー

LCIシリーズ

高さによって反射する波長スペクトルの違いから、正確に高さ計測を行う3次元共焦点ラインセンサーです。

  • 繰返しZ精度 50nm、最大速度 16kHz
  • 2048 pixel、高解像度 3D計測
  • 透明体の表面・断層データを同時に計測
  • 光沢鏡面で±20度の傾斜面を撮影可能

FocalSpec LCIシリーズ ラインナップ

モデルLCI 401LCI 1201LCI 1600LCI 1220LCI 1620
視野幅(FOV)(mm)4.311.516.611.617
X解像度(μm)2.15.68.16.79.9
繰返しZ精度(μm)※10.050.130.240.190.25
作動距離(WD)(mm)820.66420.664
計測レンジ(MR)(mm)1.135.535.5
全視野 撮影時の最大
スキャンレート(Hz)
3005005003,0003,000
最大スキャンレート
(Hz)※2
8004,0003,00016,00011,000
1ラインあたりの
計測点数※3
20482048204817281728
鏡面における計測可能
傾斜角度(度)
±15.0±20.0±13.5±20.0±13.5
外形寸法 (H×W×Dmm)300 x 202 x 62419 x 354 x 91432 x 358 x 113419 x 354 x 91432 x 358 x 113
重量(kg)414201921
IP規格 (防水・防塵規格)IP55IP55IP30IP55IP30
電源※424VDC, 2A24VDC, 2.5A
PC接続(Ethernet)Gigabit Ethernet10 Gigabit Ethernet (optical)
ライン同期高速絶縁デジタル入力(24V)高速絶縁デジタル入力(5~24V)

※1 指定された参照距離でFocalSpecターゲットを使用したZ測定値の標準偏差
※2 全視野での測定範囲0.4mmでの最大スキャンレート
※3 出力:各プロファイルポイントのX(μm)、Z(μm)および強度
※4 最大消費電力(推奨電力仕様:24VDC, 4A)
仕様は予告なく変更される場合があります。 FocalSpec LCIシリーズの技術は国際特許を取得しています。