精密計測3Dセンサー 半導体製造アプリケーション集

半導体製造工程における検査/計測の自動化に3DセンサーGocatorとheliInspectを適用したアプリケーション集です。

サブミクロン精度の3Dラインスキャンが可能なGocator4000/5000シリーズ、ナノメートルレベルの超高精度3D撮影が可能なheliInspectでウェハの光沢表面やチップを精密計測し、寸法計測や外観検査を自動化します。

各工程への適用事例とセンサーの選定ポイントについて記載しています。