高級な機械式時計などでは、耐摩耗性に優れたルビーやサファイアといった希少金属が軸受けとして使用されています。機械式時計は精密な小型部品で構成されていますが、これらの軸受けもミクロン精度での加工がなされています。

色付きではありますが透明なこれらの表面形状をサブミクロン精度で高精度に計測できる手法は限られます。さらに製造工程で適用できるような高速性を有して、という条件下ではこれまでソリューションがなく、目視検査を余儀なくされてきました。

heliInspectでは透明体の表面形状の計測も可能であり、かつ必要とされる高速性、高精度を満たすことが可能です。ワークのサイズも1視野に収まるため、ワーク１つあたり数100msで計測を実現し、インラインでの検査にも適用可能です。

heliInspectでの計測結果を下記に示します。反射率が高く、斜面になっている箇所も質の高い計測ができていることが確認できます。

heliInspectを用いて計測した軸受け： 表（左） / 裏（右）

• ポイント
  1.ミクロン単位の加工を検査するためにサブミクロン精度が必要とされる
  2.透明体を計測する必要がある
  3.インラインで適用できる計測速度が必要とされる