■  超高速干渉計測3次元センサー heliInspect

heliInspect シリーズは、高速かつ高精度に3次元形状を計測できるデバイスです。サブミクロンオーダーの精度をワンショットあたり数100msで計測することが可能です。加えて、透明体などの難しいターゲットへの適用も可能としています。今回は「透明体」というキーワードで適用事例をご紹介します。

■  透明体の計測：　時計用軸受け

高級な機械式時計などでは、耐摩耗性に優れたルビーなどの貴石（宝石）が軸受けとして使用されています。機械式時計は精密な小型部品で構成されていますが、これらの軸受けもミクロン精度での加工がなされています。

色付きではありますが透明なこれらの表面形状をサブミクロン精度で高精度に計測できる手法は限られます。さらに製造工程で適用できるような高速性を有して、という条件下ではこれまでソリューションがなく、目視検査を余儀なくされてきました。

heliInspectでは透明体の表面形状の計測も可能であり、かつ必要とされる高速性、高精度を満たすことが可能です。ワークのサイズも1視野に収まるため、ワーク１つあたり数100msで計測を実現し、インラインでの検査にも適用可能です。

heliInspectでの計測結果を下記に示します。反射率が高く、斜面になっている箇所も質の高い計測ができていることが確認できます。

heliInspect シリーズにご興味の方は、是非お抱えの案件のターゲットで計測評価をお試しください。弊社デモ機にて計測を実施し、詳細なレポートおよび計測データを提出させていただきます。
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