■  heliotis社製光干渉3次元計測センサー ： 極めて広い適用可能性

前号ではheliotis社製光干渉3次元センサーの特徴の1つである、高速性に焦点を当てて紹介しました。白色干渉計のさらなるメリットの1つに、従来のマシンビジョンでは困難とされてきた対象物に対しても計測が可能という点が挙げられます。今号では、その極めて広い適用可能性を中心に紹介します。

 
■  heliotis 計測事例

heliInspect H3/H4では、近赤外のSLEDおよび赤色LEDを光源として標準採用しており、鏡面に近いような金属表面の形状検査も可能です。また、heliInspectに用いられているセンサーの通常の画像センサーにおけるダイナミックレンジに相当する指標は110dBと非常に大きな値を持っています。このため、基板検査のような、反射率の高い部分と低い部分が混在するような対象物においても1ショットで同時に計測することが可能です。

また、レンズやガラスといった透明体に関しても計測を可能としています。加えて、干渉計では断層計測を基本としているため、近赤外光を透過する複数の層から構成される対象物であれば各層の3次元データを取得することも可能です。

■コイン

■BGA計測

■電子部品コプラナリティ

■レンズ外観検査

■ワイヤー高さ計測

■金属表面加工計測

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