LinX Express Vol.167

※LinX Express は、日頃お付き合い頂いているお客様、展示会やセミナー等でお名刺を戴いた方、また、雑誌やホームページから引合を戴いた事のあるお客様へ配信させて戴いております。

　

 ■ 光干渉断層撮像3次元計測デバイス Heliotis H3/H4

2012年12月3日、株式会社リンクスは、Heliotis AG（スイス：ルツェルン）の国内代理店として契約を締結しました。今号ではHeliotis社の光干渉断層撮像3次元計測デバイスの概要を紹介します。

 

Heliotis社の製品情報の詳細は下記をご覧ください。
【Heliotis 製品情報詳細はこちら】

 

Heliotis社の光干渉断層撮像3次元計測デバイスは、対象物の3次元形状をサブミクロンの高精度で計測します。Heliotis社は、素子内で超高速データ処理を行うセンサー[pOCT3]を独自開発し、1秒間に最大100万枚の断層計測を可能にしました。これにより、計測時間の短縮と超高精度を高いレベルで両立しています。


 

通常の画像処理では困難であった透明な液面やガラス、反射率の高い金属などの形状も正確に計測することが可能です。はんだボールの形状計測、コプラナリティ検査、レンズの表面形状検査、膜厚検査など、これまで困難とされてきたアプリケーションにも適用可能です。

 

 ■  Heliotis 計測原理

光源から照射された光はビームスプリッタで二分され、一方は対象物に、もう一方は参照ミラーに反射して、センサーに入光します。この2つの光路長が同じ値に近づくとき、光の干渉が起こり、輝度の変化（振幅）が大きくなります。光が最も強め合うポイントをプロットし、繋ぎ合わせると、一つの大きな波になります。この大きな波のピークポイントが、対象物までの距離を正確に表すことになります。3次元計測デバイスの高さを変化させるか、参照ミラーの位置を変化させることで、2つの光路長が等しくなるポイントを探します。




大きな波の形状を正確に復元するには、光が強め合うポイントを正確に取得する必要があり、そのためには大量の断層画像を取得しなければなりません。このため、通常のセンサでは計測時間が非常に長くなってしまいます。Heliotis社が独自開発したpOCT3は、1秒間に100万断層を計測できる高速性に加え、各素子でリアルタイム演算を行い、光が強め合っているポイントだけを超高速に外部に出力することができます。これにより、大きな波の形状とピークポイントを正確かつ超高速に取得できます。


図： 超高速センサー “pOCT3”


 

 ■  Heliotis 製品形態

超高速センサーpOCT3の活用は、以下の3通りの形態を用意しています。

- Heliotis H3/H4
超高速センサーpOCT3、光源および光学系を、小型モジュールにパッケージングしたものです。堅牢で設置が容易なため、研究開発やインラインでの全数検査など、様々な用途に手軽に利用することができます。

- HeliCam C3
光源や光学系を含まない、pOCT3センサーをカメラモジュールとして提供します。光源や光学系、駆動系などの自作を希望する装置メーカー様向けの商品です。

- pOCT3単体
超高速センサーpOCT3を単体でも販売しています。デバイス自体を独自の筐体にて、独自の用途向けに製作を希望するお客様向けの販売形態です。


図： 左から H3、HeliCam C3、pOCT3

 ■ Heliotis 「国際画像機器展 2012」にて展示！

本号で紹介したHeliotis社の光干渉断層計測装置を、国際画像機器展で展示しています。ワークをご持参いただければ、その場で計測し、計測データをお渡しします。透明体や光沢金属も計測できる三次元計測の性能を、是非その目でお確かめください。

（展示デモ機は標準的なセッティングとなっており、計測範囲(XxYxZ)=10x10x2mm程度、分解能は0.2um程度となります）



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