超高速干渉計測3次元センサー heliInspect

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heliInspect シリーズは、高速かつ高精度に3次元形状を計測できるデバイスです。サブミクロンオーダーの精度をワンショットあたり数100msで計測することが可能です。加えて、透明体などの難しいターゲットへの適用も可能としています。今回はシチズンファインデバイス社製卓上測定機 「IM-948」についてご紹介します。


適用事例: シチズンファインデバイス社製卓上測定機 「IM-948」

シチズンファインデバイス(株):IM-948

heliInspectでは、レーザー顕微鏡相当の高さ画像をほぼリアルタイムで出力することが可能です。このため、インラインではなく卓上の計測システムとしてheliInspectを使用したいというニーズがかねてから多くありました。

そのような声に対して、シチズンファインデバイス社がこの度リリースする「卓上計測装置IM-948」は有効なソリューションです。IM-948にはheliInspectが標準的に組み込まれており、ワークの観察・計測が簡単なマウス操作のみで導入後すぐにお使いいただけます。
6月開催の画像センシング展および機械要素技術展のリンクスブースにて本製品を展示する予定です。是非ご来場ください。

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IM-948の基本コンセプト

IM-948 は、2Dカメラモジュールと3DカメラモジュールおよびXYZパラレルリンク機構から構成されており、ユーザーはマウス操作だけで対象物の見たい箇所を簡単に観察・計測することが可能となっています。

2D/3Dのステージの切り替えはパラレルリンクにより瞬時に行われます。ピントや位置合わせなどの煩雑な作業は2Dカメラの画像で容易に行い、細かな調整をすることなく簡単にサブミクロン精度で計測することが可能です。

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・ 2Dモジュール
BASLERのカラーエリアセンサーカメラで、対象物を広い範囲で撮像します。マウス操作に応じて、ワークを搬送するXYZ軸が駆動し、簡単にZ方向のピント合わせやXY方向の位置調整が可能です。


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・3Dモジュール
2Dカメラで観察していた箇所がheliInspect 直下にくるようにパラレルリンク機構がスライドし、そのままheliInspect にて計測を行います。

取得した高さ画像の任意の位置のラインプロファイルや、3次元表示などを確認することが可能です。


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複数視野分のデータを連結したり、傾き補正や計測ツールなどの各種画像処理機能が提供されます。




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画像センシング展に出展します

今回ご紹介したIM-948は、画像センシング展2017の弊社ブースで展示します。
是非会場でheliInspectによる高精度計測を体験して下さい。

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