LinX Express

※LinX Express は、日頃お付き合い頂いているお客様、展示会やセミナー等でお名刺を戴いた方、また、雑誌やホームページから引合を戴いた事のあるお客様へ配信させて戴いております。

 
 
明日から3日間! Photonix 2015 出展のご案内

2015年4月8日(水)から10日(金)まで東京ビッグサイトにて開催される、Photonix2015に本号で紹介のheliInspcect H6を出展します。
ナノオーダーでの干渉計測を"インライン"で可能にするheliInspectシリーズの性能を会場で是非ご覧ください。

お抱えの案件のワークを持ち込みいただければ、その場で計測して適用可否をご検討いただけます。 是非ワーク持参にてご来場ください。

 
 
超高速干渉計測3次元センサー heliInspect H6

heliInspect H6 は白色干渉方式によるnmオーダー精度での計測を実現する、高精度3次元計測デバイスです。従来では数秒から数十秒を要する干渉計測を、1視野あたり数100msで計測することが可能です。センサー・光学系・Zステージなど計測に必要なコンポーネントをコンパクトな筐体にパッケージングした計測ユニットになっており、カメラのような感覚でインラインに組み込むことが可能です。

 
 
heliInspect シリーズ仕様

heliInspect H6 では、光学モジュールを取り換えることで、水平方向の分解能/視野を変更することが可能です。水平方向の分解能として、0.8/2/4/5/10/20µmの6タイプを用意しています。さらに広い視野を確保できる、水平方向分可能40μmモデルとしてH4を用意しています。

 
 
超高速の”鍵”はheliotis社製画像センサー: heliSense S3

干渉計測では、センサーと対象物間の距離を微小に変えながら光の強度を計測し、光の強度変化が局所的に最大になるポイントを精確に取得する必要があります。そのためには膨大な数のサンプリングが必要となり、センサーのフレームレートが計測時間に直結します。heliInspectシリーズでは、これを革新的なセンサーテクノロジーで劇的な短縮を実現しています。

1. 超高速信号計測
   - 1秒間に最大100万回の信号計測が可能 = 100万fpsカメラ相当
   - ステージを高速に動かしながら、干渉波形を瞬時に取得
2. スマートセンサー
   - 各素子上に処理回路をもっており、取得した信号を素子上で解析
   - 干渉波形の包絡線のサンプリングデータを5000枚/秒で後段に出力
3. FPGA
   - カメラ内部の後段FPGAにより、高速演算で干渉ピークを検出
   - 最終的に表面高さ情報を輝度値として持つ画像のみを出力

 
 
豊富なアプリケーション

Photonix 2015のブースでは、下記のような計測見本を用意してお待ちしています。お抱えの案件への適用可否にお役立てください。

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