適用事例

BGA検査

HALCONは極めて高精度で計測を行うためのオペレータが用意されています。カメラのひずみや良い照明を使うことで画像のノイズレベルを低く抑えることにより、サブピクセル精度として1/10~1/50ピクセルを実現することができます。
サブピクセル精度はXLD(Extended Line Description)という線分から構成されるデータにより計算されます。
 
ここでは、BGAのボール部分の寸法計測をサブピクセル精度で行うアプローチを紹介します。

関連製品情報はこちら

その他「半導体/IC」関連適用事例